广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵安装维修注意事项

电缆安装注意事项

　　①、对正槽口插入

　　②、用螺母拧紧，边插边拧

　　③、检查到位

振动隔离、冲击防护

　　1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入异物、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦

安捷伦推出GC-MS 5973和5975分析仪器高的无油真空解决方案——涡旋式无油干泵IDP-3，在客户现场就可实现。

现在使用GC-MS分子泵系统的分析仪器的客户，可以将您的真空泵升级为无油真空泵IDP-3，来改善操作环境，降低使用成本，消除更换润滑油和处置废油所带来的一切烦恼。

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦

有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷伦科技（Agilent Technologies），StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦

分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为 7mT 时，平衡温度上升到 100 摄氏度左右（安捷伦分子泵的允许温度为 120 度）。另外，KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（ 5mT 时，低大约40度）。